| 获奖时间 |
获奖名称 |
获奖类别 |
完成人(主要参加者) |
| 2017年1月9日 |
氧化物阻变存储器机理与性能调控 |
2016年国家自然科学奖 |
刘明、刘琦、管伟华、龙世兵、王艳 |
| 2016年 |
22纳米集成电路核心工艺 |
2016年北京市科学技术奖一等奖 |
叶甜春,徐秋霞,朱慧珑,陈大鹏,赵超,闫江,王文武,霍宗亮,李俊峰,殷华湘,李东三,张建勇,王敬 |
| 2016年 |
纳米集成电路关键技术及应用 |
2016年中国电子学会科学技术奖技术发明类一等奖 |
叶甜春,徐秋霞,朱慧珑,赵超,张卫,王敬 |
| 2016年 |
高密度三维系统级封装关键技术研究 |
2016年北京市科学技术奖二等奖 |
万里兮、曹立强、蔡坚、陈兢、于中尧、王珺、孙蓉、李慧云、谬旻、王福亮、周云燕、李宝霞、李君、宋崇申、孙瑜 |
| 2014年1月10日 |
高精度微纳结构掩模制造核心技术 |
2013年国家技术发明二等奖 |
刘明、谢常青、叶甜春、陈宝钦、卞福良、龙世兵 |
| 2013年 |
X光单级衍射光栅研制 |
2013年度国家技术发明二等奖 |
中国工程物理研究院激光聚变研究中心，爱博体育官网|lovebet体育（谢常青排名第四，朱效立排名第五） |
| 2013年 |
高密度多层封装基板制造工艺开发与产业化 |
2013年度深圳市科技进步二等奖 |
深南电路有限公司，爱博体育官网|lovebet体育（阎跃鹏），清华大学，中国科学院深圳先进技术研究院 |
| 2012年 |
超大规模集成电路65-40纳米成套产品工艺研发与产业化 |
2012年度北京市科学技术一等奖 |
中芯国际，微电子所（陈岚、叶甜春等） |
| 2011年3月28日 |
首都科技条件平台中科院研发实验服务基地 |
首都科技条件平台中科院研发试验服务基地先进集体二等奖 |
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| 2010年 |
微纳结构“自上而下”制备核心技术与集成应用 |
北京市科学技术一等奖（908-2010-001） |
刘 明 谢常青 陈宝钦 卞福良 龙世兵 田 炜商立伟 朱效立 姬濯宇 沈俊然 王 琴 李 友 叶甜春 段小楠 徐 佳 |
| 2009年12月23日 |
100nm高密度等离子刻蚀机研发与产业化 |
国家科学技术进步二等奖 |
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| 2009年 |
第三代（宽禁带）半导体电子材料和器件基础研究 |
2009年国防科技进步一等奖 |
中国电子科技集团公司、13所、46所、55所、北大、西电、半导体所、微电子所（排名第十，刘新宇） |
| 2009年 |
移动通讯用滤波器关键技术及产业化 |
国家科技进步二等奖 |
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| 2009年 |
移动通讯用滤波器关键技术及产业化 |
2009年国家科技进步二等奖 |
电子科技集团26所、清华大学、微电子所，中电科技德清华莹电子有限公司，中国电子科技集团公司第五十五研究所，山东大学， |
| 2008年12月 |
100nm高密度等离子刻蚀机研发与产业化 |
北京市科学技术奖一等奖 |
赵晋荣、张伯旭、耿锦启、张建勇、李东三、王宝全、李 兵、孙 岩、张秀川、刘利坚、赵梦欣、南建辉、夏 威、白志民、徐 华 |
| 2008年 |
90-65纳米极大规模集成电路大生产关键技术研究 |
2008年国家科技进步二等奖 |
徐秋霞 |
| 2007年 |
中高频声表面波关键材料及技术研究 |
2007年国家技术发明二等奖 |
刘明 |
| 2007年 |
90-65纳米极大规模集成电路大生产关键技术研究 |
2007年教育部科学技术一等奖 |
徐秋霞、叶甜春 |
| 2005年 |
亚30纳米CMOS器件相关的若干关键工艺技术研究 |
2005年国家技术发明二等奖 |
徐秋霞 钱鹤 韩郑生 刘明 陈宝钦 叶甜春 |
| 2005年 |
High Performance 70nm CMOS Devices |
2005年中国科协期刊第一届优秀论文奖 |
徐秋霞 钱鹤 殷华湘 贾林 季红浩 陈宝钦 朱亚江 刘明 |
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